作業工程図

第1工程 製品受入

お客様から支給された製品に受入検査を実施致します。キズ・汚れなどが無い事を処理前に確認し、もし不具合が発見された場合には、お客様に確認の御連絡を致します。

第2工程 洗浄
脱脂

真空装置内は、油分などを非常に嫌う為、加工時に付着した油、人の手などで付着した脂などを、有機溶剤などを用い脱脂洗浄致します。

研磨

変質層・酸化層などがあり得る場合には、研磨剤などでの研磨、もしくはショットブラストで、表面層を除去します。お客様とご相談させていただき、表面状態の仕上がりの仕様などを決定致します。

仕上げ

脱脂洗浄・研磨処理で、汚れ除去が不十分な箇所がないかを確認し、正常にコーティングが出来る表面状態にします。

第3工程 検査

洗浄後、しっかりと目視での外観検査を実施します。製品を成膜治具に取り付ける前に、成膜前の最終確認をします。

第4工程 製品取付

製品を治具に取付の際、傷などを付けないよう、細心の注意を払い成膜治具に取り付けます。

治具

成膜治具に関しては、試作等で数量が少ない場合ワイヤーなどでの括り付け、またはボルト止めなどで対応させて頂きます。数量が多い場合の時には、治具製作などのご相談をさせて頂く場合がございます。

マスク

製品により、成膜したくない箇所がある場合には、治具、またはSUS箔などでマスキングを行います。

仕様確認

装置内に入れる前に、仕様を確認し、コーティングをする箇所が間違いないかを確認します。

検査・洗浄

取付後、ゴミ・汚れの付着がないか目視にて確認し、溶剤での拭き取り・エアーブローを行います。ゴミ・汚れなどは、膜剥離の原因になり得るので、注意して

第5工程 成膜
加熱処理

基板を加熱し、内部に残存しているガスを放出させ、成膜しやすい状態にします。製品によっては、あまり加熱をかけられない物もあるので、事前にご相談させていただくことがございます。

ボンバード処理

成膜前に、真空槽内でArイオンを基板に叩きつけ、基板表面をクリーニングします。

成膜

ターゲット(物質)、又は基板の形状・材質により、それぞれに適した装置条件を整え成膜をします。物質によってはガスを投入し、化合させたりします。

冷却

成膜後、加熱された状態の製品をすぐ大気にさらしてしまうと、酸化してしまう恐れのある製品もある為、製品を100℃以下に冷却後装置から取り出します。

第6工程 検査

成膜後の製品に不具合がないか、出荷前に確認致します。仕様によっては、外観・膜厚測定・密着力テスト等を行い、しっかりと成膜がなされているかの確認を行います。不具合・不良等が発生した場合、すぐお客様への確認を致します。

第7工程 梱包・出荷

製品を運送中に傷付けてしまわないよう、個別に梱包し出荷致します。

作業工程図

コーティング作業工程図