6:C(炭素)

炭素は酸素と結びつき2酸化炭素になったり、非常に身近な物質の一つ。様々な物質に炭素が含まれており、炭素が含まれている物質を有機物と呼んでいる。ダイヤモンドも炭素でできております。

7:N(窒素)

空気の成分で最も多い気体で、約78%が窒素である。窒素は金属と化合する事で金属自体を硬くする事が多く、金属表面に窒素を侵入させるプラズマ窒化やイオン窒化といった技術がある。これはプラズマを発生させ窒素イオンを基板に衝突させることにより、表面クリーニングや窒化処理が同時に行う事が出来ます。

またチタン(Ti)を真空成膜する際に窒素雰囲気にする事により窒化チタン(TiN)と言う化合物が出来、ビッカース硬度で2000~3000と非常に硬い膜が成膜可能となる。成膜において窒素(N)の化合物は窒化チタン(TiN)、炭窒化チタン(TiCN)、窒化チタンアルミ(TiAlN)、窒化クロム、などがあります。

8:O(酸素)

空気の成分で約20%を占める気体。酸素は人が生きていく上で必要不可欠あ物質であり、モノが燃える際にも酸素が必要とされる。また酸素は様々なものと化合し酸化物が出来る。

成膜業界では製品表面に酸化膜があると、金属膜の密着性が落ちる傾向にあり、成膜前には酸化膜を除去するための下地洗浄や、真空槽内で行うボンバード(エッチング)処理が必要となってくる。

真空蒸着の場合には酸化物の蒸着材を使用する事があり、EBで加熱した際に酸素が欠損してしまう場合ある。そのため、真空槽内に酸素を導入しながら成膜する事で蒸着材料の屈折率などを制御する場合がある。